韓国産フッ化水素、 とんでもない ことになっていた… 日本よ 助けてくれ!

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東進セミケムという会社の発安(パラン、京畿道華城市)工場を訪問したのは、去年の6月22日だった。日本が2019年7月に韓国に対する輸出規制強化の措置を取ってから2年を迎えようとする時だった。東進セミケムは、フォトレジストメーカーとしては国内の代表格といわれている。
フォトレジスト(感光液)の中で最高級段階の「極端紫外線(EUV)用フォトレジスト」は日本の輸出規制の主要3大品目の中で唯一国産化に至っていない状態だった。

今も状況は変わっていない。残り2品目の「高純度フッ化水素」(半導体とディスプレーのエッチング工程に欠かせないエッチングガス)と「フッ化ポリイミド」(折り畳みスマートフォンのモニターフィルム素材)は、輸出規制から2年に至る前に早くも国産化段階に入り、輸出規制の影響に対する懸念を吹き飛ばしたのとは全く違っていた。
それだけ高難度の課題であることを反映し、日本の輸出規制による強固な壁の象徴として残っている。3大輸出規制品目のうち、国産化されていない唯一の材料 EUV用フォトレジスト開発、最終段階へ 政治外交と関係なく起きた「尿素水事件」 材料・部品・装備問題でサプライチェーンの緊張感高まる半導体の主要材料は「まだ開発中」

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